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專(zhuān)業(yè)鑄就價(jià)值,合作成就未來(lái)

槽式單晶制絨機(jī) S400/S510/S550/S600

槽式單晶制絨機(jī) S400/S510/S550/S600

主要功能:

用于單晶硅片的損傷層去除、制絨、清洗、干燥。



0512-66163090
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設(shè)備性能

產(chǎn)能: Up to 9600/8000/10000/12000 Wafers/Hour

設(shè)備有效利用率:≥98%

碎片率:≤0.01%

 

硅片規(guī)格

硅片厚度:≥140 μm

硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

花籃類(lèi)型:Low-surface carrier (LSC)made by PVDF

花籃片間距:4.1mm

花籃容量:100-120 wafers


機(jī)械臂系統(tǒng)

機(jī)械臂:4 sets

伺服馬達(dá):8 PC

抬起時(shí)間:Less than 5 sec 

 

設(shè)備尺寸 

長(zhǎng)*寬*高:15998*2630*2574mm

長(zhǎng)*寬*高:16200*3000*2574mm

長(zhǎng)*寬*高:17730*3000*2574mm

長(zhǎng)*寬*高:25560*2960*2574mm

 

方向

工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

 

 電力供應(yīng)

供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

控制電源:DC 24V

滿載電源:230KW/138KW

建議最大保險(xiǎn)絲規(guī)格:225A/135A

 

安裝要求

最小地面承重:750Kg/㎡

最低車(chē)間高度:3.5m

無(wú)塵室級(jí)別:ISO7(10K Class)

環(huán)境溫度:17℃<RT<30℃

最大濕度:70%